产品介绍
工业级电子束蒸镀机主要用于钛、铝、钼、铜、锌等金属物以及氮化钛、二氧化硅等化合物材料的高速生长沉积,从而实现高效大批量产能。
电子枪可以容纳多个坩埚(最多8个),实现多种材料交替沉积或配双电子枪实现共沉积的镀膜工艺。采用高精度的双探头膜厚测量仪,对镀膜过程进行全程在线监控,配备镀膜均匀挡板,可以轻松实现良好的大衬底的膜厚均匀性。
主要技术参数:
1)衬底尺寸:4英寸、6英寸、8英寸
2)衬底个数:4、6、8、12等可选
3)沉积均匀性:±3%
4)样品架形式:穹顶式、行星式可选
5)衬底加热温度:室温至450℃,旋转速率0-20rpm
6)离子源辅助沉积镀膜及样品清洗功能可选
7)多种电子枪坩埚个数和容积的组合可选
8) 电子枪个数:单个或两个可选
9)双探头QCM膜厚在线监控
10)蒸发本底真空:10-8 Torr高真空
11)主抽真空泵:低温泵
12)维护模式或全自动或手动控制模式可选